一、截止閥概述與工作原理

截止閥作為流體控制系統(tǒng)中的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體、石油化工、電力、制藥、食品飲料等行業(yè)。其主要功能是實現(xiàn)流體的精準截斷或開啟，以滿足不同工況的控制需求。由于應(yīng)用環(huán)境的差異，截止閥在設(shè)計、材料選擇和規(guī)格型號上展現(xiàn)出多樣化特點。

（一）工作原理

截止閥依靠閥瓣與閥座的相對運動來實現(xiàn)流體的通斷。當閥桿旋轉(zhuǎn)時，閥瓣隨之升降，遠離閥座時閥門開啟，介質(zhì)得以流通；當閥瓣與閥座緊密貼合時，流體被有效截斷。該控制方式具有操作簡便、密封性能優(yōu)越的特點。

（二）基本結(jié)構(gòu)

閥體：作為閥門的主體，連接管道并容納內(nèi)部組件。閥體的結(jié)構(gòu)形式包括直通式、角式等，材料選擇依據(jù)工況需求，如高溫高壓環(huán)境下常采用鑄鋼或鍛鋼，而耐腐蝕環(huán)境下則使用不銹鋼或工程塑料。

閥蓋：封閉閥體頂部，保護內(nèi)部零件，連接方式包括法蘭連接、螺紋連接和焊接等，以適應(yīng)不同的壓力和溫度要求。

閥桿：連接執(zhí)行機構(gòu)與閥瓣，通過旋轉(zhuǎn)帶動閥瓣運動，要求具備足夠的剛性和強度，并保持良好的直線度和表面光潔度，以提高密封性和操作穩(wěn)定性。

閥瓣：直接與介質(zhì)接觸，控制流體的通斷。其形狀多樣，如平板形、柱塞形、流線形等，以適應(yīng)不同流量控制需求。

密封組件：包括閥座密封面和閥桿密封裝置，確保閥門的密封性。密封材料可分為金屬密封和非金屬密封，前者耐高溫高壓，后者柔韌性好，適用于腐蝕性介質(zhì)。閥桿密封常見方式有填料密封和波紋管密封，其中波紋管密封可實現(xiàn)零泄漏，適用于半導(dǎo)體及醫(yī)藥行業(yè)。

二、截止閥在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

（一）應(yīng)用環(huán)境特點與特殊要求

半導(dǎo)體制造對環(huán)境潔凈度有極高要求，微小的顆粒污染可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能下降或損壞。因此，適用于半導(dǎo)體行業(yè)的截止閥需具備超高潔凈度，內(nèi)部表面經(jīng)過特殊處理，以防止顆粒脫落。

此外，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程對流體流量控制的精準度要求極高，截止閥需具備高精度調(diào)節(jié)能力，以確保工藝的穩(wěn)定性和一致性。同時，閥門需具備快速響應(yīng)特性，以便在工藝轉(zhuǎn)換時精準控制流體的通斷。

（二）常見截止閥型號及技術(shù)參數(shù)

Swagelok SS-400 系列

規(guī)格：公稱通徑范圍 1/8" - 1"，適用于半導(dǎo)體制造中的管道連接。

技術(shù)參數(shù)：泄漏率低至 10?? std cm3/s He，確保介質(zhì)無泄漏。最高工作壓力可達 68.95 MPa（10,000 psi），適用于多種氣體輸送系統(tǒng)。開關(guān)響應(yīng)時間短至毫秒級，滿足高效生產(chǎn)需求。

WODE VSS 系列

規(guī)格：涵蓋 1/8" - 1" 口徑，提供 VCR、卡套、螺紋等連接方式，適用于不同管道系統(tǒng)。

技術(shù)參數(shù)：泄漏率可低至 10?11 std cm3/s He，確保超高密封性。適用溫度范圍 -40℃ 至 350℃，滿足各種溫度工況。設(shè)計優(yōu)化的流量系數(shù)（Cv 值），在確保密封性的同時提升流量控制性能。

（三）典型應(yīng)用場景

光刻工藝：光刻過程中需要精確控制光刻氣體的供應(yīng)，截止閥用于管道流量調(diào)節(jié)，確保光刻氣體在最佳時機進入設(shè)備，以保證圖案的精度與一致性。

刻蝕工藝：刻蝕工藝中使用腐蝕性氣體處理硅片表面，截止閥憑借其高潔凈度和耐腐蝕性，防止污染物進入系統(tǒng)，同時保障長期穩(wěn)定運行。

濕制程工藝：在清洗、顯影等環(huán)節(jié)，化學試劑的流量控制至關(guān)重要。半導(dǎo)體專用截止閥能夠精準調(diào)節(jié)化學品的輸送，確保處理過程的高效性和安全性。

截止閥在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用至關(guān)重要，需滿足高潔凈度、精確流量控制、高密封性及快速響應(yīng)等要求。隨著半導(dǎo)體制造工藝的不斷升級，截止閥的技術(shù)創(chuàng)新也在持續(xù)推進，以適應(yīng)更嚴苛的生產(chǎn)環(huán)境，提高生產(chǎn)效率與產(chǎn)品質(zhì)量。